S6 · UHP 316L do zastosowań półprzewodnikowych

Semiconductor UHP 316L (lista mediów i warunków granicznych dla 316L/304L)

Wymień media, gatunki i warunki graniczne związane z Semiconductor UHP 316L: 4 typowe komponenty/warunki, w tym zalecane gatunki, specyfikacje, przyczyny awarii i normy.

Wyjaśnij warunek, uzyskaj rekomendacje materiałowe Zobacz produkt

Precyzyjne blachy nierdzewne i obrobione cienkościenne części — Elektronika i półprzewodniki: precyzyjne blachy, czyste rury i komponenty konstrukcyjne (ilustracja; dobór materiału na podstawie mediów, temperatury i rysunków)

Cztery części i lista materiałów

Część / komponent	Zalecany gatunek	Specyfikacje / grubość	Powierzchnia	Tryby awarii	Normy odniesienia
Rurociągi do przesyłu gazów UHP	316L VIM-VAR	Wytrzymałość na rozciąganie: 0,010%, Siarka (S): ≤0,05%, Tlen (O): ≤0,07%, Zanieczyszczenia: ≤0,5 klasa ASTM E45 A/B/C/D, Mikrostruktura: Seria drobna	Polerowanie mechaniczne Ra≤0,25μm → Polerowanie elektrolityczne Ra≤0,13μm; Wysokiej klasy Ra≤0,05μm	Zanieczyszczenie cząstkami/jonami metali jest głównym trybem awarii; Korozja międzykrystaliczna/Strefa wpływu ciepła w spoinach wtórna, ale nie do zignorowania	SEMI F20 Klasa 5；SEMI F19；SEMI F57
Korpusy zaworów gazów specjalnych / Zawory redukcyjne / Zawory membranowe	316L Odkuwki VIM-VAR	S≤0.005%	Polerowanie elektrolityczne Ra≤0,2μm	Brak wolnego żelaza	SEMI F20 4.6.2；ASTM A182
Odległość gniazda od ścianki rury >1D	316L Rurociągi CMP/Mokrych chemikaliów elektronicznych	Wykładziny EP/PFA/PTFE	Ra≤0,2μm	Zużycie ścierne + mocne kwasy/utleniacze + zatrzymywanie cząstek	SEMI F20; SEMI F57
Komory próżniowe/klapy	304L/316LGatunek	Niska szybkość odpowietrzania jest kluczowa, nie siarka ani tlen	2B/ Elektropolerowanie/Mycie kwasem	Nieodpowiednie odpowietrzanie → spadek próżni; nieszczelności podczas spawania	ASTM A240; ISO 3669

Tabela zawieraKonfiguracja standardowa. Ten sam element może być wykonany ze stali 304, 316L lub 2205 w zależności od medium, temperatury i metody spawania — lepiej wyjaśnić warunki niż podawać gatunki.

Względy materiałowe

Najczęściej stosowane gatunki w tej branży to 316L (4), 304L (1) —— liczby w nawiasach oznaczają liczbę obszarów, których to dotyczy, przydatne przy wycenie i przygotowaniu materiału.
W mediach kwaśnych 316L to tylko punkt wyjścia; wraz ze wzrostem stężeń i temperatur należy rozważyć 904L / Duplex (2/4 trafienia).
Zakres grubości: 0,005–0,01 mm —— cienkie blachy to głównie części formowane (należy uwzględnić odbicie sprężyste przy zginaniu i pękanie przy głębokim tłoczeniu), grube blachy to głównie konstrukcje spawane (należy uwzględnić ciepło wprowadzane i uczulenie).

Częste problemy

Półprzewodnikowy UHP 316L: Która stal nierdzewna jest najczęściej stosowana do limitów SEMI F20 dotyczących siarki/tlenu/wtrąceń/Ra?

Na podstawie łącznej liczby stron najczęściej występującymi gatunkami są 316L (4) i 304L (1). Konkretny dobór do części nadal zależy od medium i temperatury; np. blaty ze stali nierdzewnej mające kontakt z wodą słoną należy zmienić z 304 na 316L.

Które części są najbardziej podatne na problemy?

Na podstawie opisów awarii typowym przypadkiem są „rurociągi do transportu gazu UHP”: zanieczyszczenie cząstkami stałymi/jonami metali jest awarią pierwotną; korozja międzykrystaliczna/spawy w strefie wpływu ciepła są wtórne, ale nie do pominięcia; zalecany gatunek 316L VIM-VAR, specyfikacje S ≤0,005–0,010%; O≤7ppm; wtrącenia ASTM E45 seria drobna A/B/C/D ≤0,5 stopnia. Dla tego warunku należy w fazie projektowania określić stężenie medium, temperaturę i metodę czyszczenia.

Jaką grubość wybrać?

Zakres grubości w wykazie wynosi 0,005–0,01 mm. Dla cienkich blach należy uwzględnić odkształcalność i jakość powierzchni; dla grubych blach wytrzymałość spoiny i integralność konstrukcyjną. Wartości mogą się różnić w zależności od producenta urządzenia dla tej samej części; należy sprawdzić rysunki lub warunki.

Materiały powiązane i branże pokrewne

316LMateriał i specyfikacje 304LMateriał i specyfikacje Śruby ze stali nierdzewnej: A2-70/A4-70/A4-80/seria D i najnowsze normyŚruby ze stali nierdzewnej Kołnierze ze stali węglowej do odsalania wody morskiej: granice ciśnienie-temperatura-korozja 2205/2507Kołnierz dwufazowy i odsalanie Zawory membranowe higieniczne/zawory czyste: ASME BPE, Ra i granice temperaturyZawory sanitarne