B11 · Półprzewodniki i gazy elektroniczne
Blachy ze stali nierdzewnej do półprzewodnikowych i elektronicznych gazów specjalnych: przewodnik doboru i 6 list części
W naszych półprzewodnikowych i elektronicznych gazach specjalnych zorganizowaliśmy 6 części z użyciem stali nierdzewnej: powszechnie stosowane 316L / 304L o grubości od 0,05–30 mm.
Sześć lokalizacji i list materiałów
| Lokalizacja / część | Zalecany gatunek | Specyfikacje / grubość | Powierzchnia | Główne tryby awarii | Normy odniesienia |
|---|---|---|---|---|---|
| Rurociągi przesyłowe gazu UHP | 316L VIM-VAR | 1/8″–2″ | Polerowanie elektrolityczne Ra≤0,4μm; Badanie odporności na korozję międzykrystaliczną | Zatrzymywanie cząstek → zanieczyszczenie płyty; Trawienie Cl⁻/F⁻; Korozja strefy wpływu ciepła (HAZ) spoiny | SEMI F20 Grade 5; ASTM A269/A632; SEMI F19 |
| Korpus zaworu/Manometry/Zawory membranowe do szafy gazów specjalnych | 316L Odkuwki VIM-VAR | DN1/4″–1″; Cv 0,05–1,30 | Polerowanie elektrolityczne Ra≤0,4μm | Odległość gniazda od ścianki rury > 1D tworzy martwe strefy retencji; Trawienie przez żrący gaz specjalny | SEMI F20 4.6.2; ASTM A182 |
| Filtry gazowe/Przyłącza/Króćce | 316L VIM-VAR | Zgodnie z interfejsem | Elektropolerowanie Ra≤0,4μm | Zatykanie przez cząstki stałe i produkty korozji; wyciek na połączeniu | SEMI F20; ASTM A269 |
| Rurociągi transferowe zawiesiny CMP/mokrych chemikaliów | 316L Wyłożenie EP/PFA/PTFE | 1/4″–2″ | Polerowanie elektrolityczne Ra≤0,4μm | Zużycie ścierne + mocny kwas/utleniacz + zatrzymywanie cząstek | SEMI F20; SEMI F57; ASTM A269 |
| Płytki myjące/uchwyty/dysze natryskowe | 316L/PFA/krzem/zwykły węglik krzemu | Zbiornik 3-10mm | Polerowanie/dyfuzja | Silna korozja + zanieczyszczenie cząstkami | SEMI F20; ASTM A240 |
| Komora próżniowa/płyta czołowa/szyjka okna obserwacyjnego | 304L/316LKlasa próżniowa | Statek | 2B/Szlifowanie ścierne/Mycie kwasem | Niska degradacja próżniowa, nieszczelność spawalnicza | ASTM A240; SEMI F20; ISO 3669 |
Wskaźnik nie spełnia wymagańKonfiguracja standardowa.Ten sam element można przełączyć z 316L na 304L lub 2205 w zależności od warunków użytkowania, oszczędzając czas dzięki określeniu warunków zamiast samego materiału.
Kluczowe punkty przy doborze materiału
- Najczęściej stosowane gatunki to 316L (6) i 304L (1).
- Zaczynając od kwasoodpornego 316L, przejdź wyżej z 904L / lub duplex (2/6 trafień).
- Zakres grubości: 0,05–30 mm: Cienkie blachy są do części formowanych (uwzględnij odkształcenie sprężyste przy zginaniu i pękanie przy tłoczeniu głębokim), grube blachy są do konstrukcji spawanych (uwzględnij ciepło wprowadzone i uczulenie).
Częste problemy
Która stal nierdzewna jest najczęściej stosowana do gazów specjalnych w przemyśle półprzewodnikowym i elektronicznym?
Spośród łącznie 6 części 316L występuje najczęściej (6 trafień), a następnie 304L (1 trafienie). Konkretny wybór dla części nadal zależy od medium i temperatury. Na przykład oba blaty ze stali nierdzewnej wymagałyby różnych gatunków, gdyby jeden był narażony na działanie słonej wody.
Jakie rodzaje obszarów są podatne na problemy?
Na podstawie opisów awarii typowe przykłady obejmują „rury transportowe gazu UHP”: zatrzymywanie cząstek → zanieczyszczenie płytek; korozja specjalna Cl⁻/F⁻; korozja strefy wpływu ciepła spoiny (HAZ). Zalecany gatunek 316L VIM-VAR o specyfikacji 1/8″–2″. Dla tych warunków zaleca się określenie na etapie projektowania stężenia medium, temperatury i metod czyszczenia.
Jaką grubość wybrać?
Zakres grubości w wykazie wynosi 0,05–30 mm. W przypadku cienkich blach należy uwzględnić gięcie i wykończenie powierzchni; w przypadku grubych blach spawanie i wytrzymałość konstrukcyjną. Wartości mogą się różnić w zależności od producenta urządzenia dla tej samej lokalizacji. Należy ponownie sprawdzić z rysunkiem lub warunkami eksploatacji.
Materiały powiązane i branże pokrewne
Applications6